洁净技（jì）术要点

无尘洁净室的气（qì）流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到（dào）关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果（guǒ）增加（jiā）及末级过滤器效率（lǜ）的提高等，对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应（yīng）用中（zhōng）人们担心的噪音、损坏维修等问题已在（zài）实践中得（dé）到解决，随（suí）着FFU的不断改进，对是否采用FFU回风系统也是个热点（diǎn）：悬浮分子（zǐ）污（wū）染(AMC)的控制在微电子（zǐ）及IC工（gōng）业中已日益提到日程上来，受（shòu）到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。

　 　无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室（shì）内发尘量及过滤器效率还受其他（tā）因素影（yǐng）响，就工业（yè）洁净室而言，影（yǐng）响洁净度及选择（zé）气流速度的（de）因素主要是：

　　(1)室内污染源：建筑物组件、人员（yuán）数量及操作活动（dòng）、工艺设备（bèi）、工（gōng）艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;

　　(2)室内气流流型及分布：单向（xiàng）流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布（bù）置和位置变动及人员活动情况等（děng）的干扰形成局部涡流（liú）;而非单（dān）向流要求充混合（hé），避免死角及温度分层（céng）;

　　(3)自净时间(恢复时间)的控制要求：洁净室中事故释（shì）放或带入污（wū）染物或空（kōng）气气流的中断或正（zhèng）常操作时的间歇性对流气（qì）流或人及设备（bèi）的移动等都会造成洁净度的恶化，恢（huī）复到原来（lái）洁净度的（de）自净时（shí）间决定于气流（liú）速度;对自净时间的控制要求取决于此时间框（kuàng）架内(恶化的洁净度（dù）下（xià）)，对产品生产的质量及成（chéng）品（pǐn）率影响的承受能（néng）力;

　　(4)末级过滤器的效率（lǜ）：在（zài）一定的（de）室内发尘（chén）量下，可采用较率的过（guò）滤器以降低气流速度（dù）;为节能应考虑采用较率的过滤器，并降低气流速度，或采用较低效率的（de）过滤器并采用较高的气流速度（dù），以求流（liú）量与（yǔ）阻力的乘（chéng）积zui小（xiǎo）;

　　(5)经济性考虑：过大的（de）气流速度造成投资及运行费用的增加，合（hé）适的气（qì）流速（sù）度为以上诸（zhū）因素合理（lǐ）的综合，过大往往不必要，亦不一（yī）定有效果;

　　(6)对洁净度（dù）要求低的洁净室，有时换气次数决定于（yú）室内排（pái）热的要求。

　　FFU系统的应用

　　FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无（wú）可担心（xīn）。当前（qián）其改（gǎi）进主要是：

　　(1)采（cǎi）取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内;

　　(2)电动机采用（yòng）DC/EC(电（diàn）子整流电机)，以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小（xiǎo）容量(功率<1/2HP)的交流（liú）电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75～80%;在调速控制上可每台（tái）单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前（qián）投资回收期（qī）尚长而未广泛采用（yòng），一般（bān）常用分组群控（kòng）或全部（bù）群控。

　　(3)但FFU出（chū）口静压不能过大，一般采用出（chū）口（kǒu）风速成（chéng）0.38m/s，此（cǐ）时其静压（yā）一般在250Pa以内。

　　FFU回风系统与其他（tā）方式相比的优点

　　优点：

　　(1)灵活性大，便于改造;

　　(2)占（zhàn）用建筑物空间较少;

　　(3)洁净室内空气压（yā）力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。

　　缺点：

　　(1)要求回风道全部阻力(包括多（duō）孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在（zài）初（chū）阻力时)，总共应控制在165Pa左右，以（yǐ）满（mǎn）足运行时zui大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格（gé）栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在（zài）50Pa左右，回风道阻力在15Pa以内（nèi），否则就需要再增设加压风（fēng）机（jī）系统，这就是降低了FFU系统（tǒng）的综合优点。

　　(2)采用DC/EC电机后，单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为（wéi）低，但（dàn）已有研究指出，比采（cǎi）用改进后的大型轴（zhóu）流风机的回风系统的（de）能耗还是要高。因此需要（yào）注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力（lì）降低的因素。

　　(3)一般FFU系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增加。

　具体（tǐ）情况下的评（píng）价

　　(1)FFU用于老建筑物（wù）改造成洁净室时，其综合经济性一般（bān）往往可取。

　　(2)洁净度要求严的洁净室，末级过滤（lǜ）器满布（bù）率100%时，对大（dà）的系（xì）统采（cǎi）用FFU，当前还是不经济的;对小系统有意（yì）义作具体比较（jiào）。

　　(3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率≤40%时（shí）对大系统综合经济性往往相差不多，但对IC工厂（chǎng）而言FFU系（xì）统的灵活性是重要的，因（yīn）此当前IC工厂对过滤器满布率（lǜ）≤40%时，采（cǎi）用FFU系统（tǒng）已经普遍。