GMP车间净化工程气流流形的检(jiǎn)测步骤
更新时间:2016-06-20 点击次数:2898
GMP车间净化工程洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子(zǐ)、有害空(kōng)气、细菌等之污染物排除,并将室(shì)内之温度、洁净度、室内(nèi)压力、气流速(sù)度与气(qì)流分布、噪音振动(dòng)及(jí)照明、静电控制在某一需求范围内,而(ér)所给予特别设计之净化车间洁净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。zui主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁(jié)净度日及温湿(shī)度,使产品能在一个良好之环境空间(jiān)中生(shēng)产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照惯例,
GMP车间净化工程无(wú)尘(chén)净化级(jí)别主要是根据每立方(fāng)米空(kōng)气(qì)中粒子直径大(dà)于(yú)划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常(cháng)微量(liàng)的单位上。当然这个标(biāo)准中符合灰尘标准的颗粒相对于(yú)我们常见(jiàn)的灰尘已经是小的(de)微乎其微,但是对于光学构造而言,哪(nǎ)怕是一点点(diǎn)的灰尘都会产(chǎn)生非常大的响,所以在光学构造产品的生产(chǎn)上,无尘是必然的要求。
1垂直单向流洁净室(shì)选择纵、横剖面各一个,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个;水平单向流洁(jié)净室选择纵剖面(miàn)和工作(zuò)区高(gāo)度(dù)水平面各一个,以及距送、回风墙面0.5和房间中心处等3个横剖面,所有面上的测点间距均(jun1)为0.2m~1m;
2)乱流洁净室选(xuǎn)择(zé)通过代表性(xìng)送风口中心的纵、横剖面和工作(zuò)区高度的水平面各一个(gè),剖面上的测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测(cè)点间(jiān)距为(wéi)0.5m~1m。两个风(fēng)口之间的中线上应有测(cè)点。
2测定方法:用发烟器或(huò)悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流(liú)流向,并可用量角器量出角度(dù),发烟源可用超声波雾化(0.5um~50um水雾)的去离子(DI)水、喷(pēn)射方法生(shēng)成的(de)乙醇或二醇、固态二氧(yǎng)化碳(干冰)等,在高强度光源下示踪。在确保对人和物无(wú)伤害时可以四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子。