空气净化（huà）工程的分类

　　层流式空气净化（huà）工程（Laminar）

　　层流式空气气流运动成一均匀之直（zhí）线型，空气由覆盖率100之过滤器进（jìn）入室内（nèi），并（bìng）由高架地板或两侧隔墙板回风。此（cǐ）型式（shì）适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：

　　（1）垂直层流式：房间天花（huā）板*以ULPA过滤器覆（fù）盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净（jìng）度，在（zài）制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

　　优点：管理容（róng）易，运转开始短时间内即（jí）可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费（fèi）用较高，弹性运用空（kōng）间困（kùn）难，天花板之（zhī）吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

　　（2）水平层流式：水平式空气自过滤器单方向（xiàng）吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃（āi）随（suí）风向排（pái）出室外，一（yī）般在下流侧污（wū）染（rǎn）较严重。

　　优点：构造简单（dān），运转后短时间内即可变成稳定。

　　缺点：建造费用（yòng）比乱流式高，室内空间不易扩充。

　　乱流式空气净化工程 （Turbulent Flow）

　　空气由空调箱经风管与洁（jié）净（jìng）室内之空气过（guò）滤器（HEPA） 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间（jiān）墙板或高架地板回风。气流非直（zhí）线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等（děng）级1,000-100,000级。

　　优点：构造简单、系统建造成本低（dī），洁净（jìng）室的扩充比较容易，在某（mǒu）些特殊（shū）用途场所，可（kě）并用无尘工作台，提高洁净室等级（jí）。

　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产（chǎn）品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净（jìng）度，往往须（xū）耗时相（xiàng）当长一段时间。

　　复合（hé）式空气净化工程（chéng）（Mixed Type）：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局（jú）部超洁净之空气。

　　（1）良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动（dòng）化生产线为zui适宜使用。药（yào）品、食品业界及半导体业界均适（shì）用。

　　（2）并装（zhuāng）局部洁净室（Clean Spot）：将（jiāng）洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上（shàng），以为生产之用；洁净工作台（tái）、洁净工作（zuò）棚、洁净风柜即属此类。

　　（3）洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经（jīng）过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之（zhī）送风即（jí）可（kě）得到（dào）洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将（jiāng）制程区域（yù）或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离（lí），以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制（zhì）程大都采用此种型式。

　　洁净隧（suì）道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行（háng）。