对于大部分洁(jié)净空间,为了防止外界污染侵入,需(xū)要保持内(nèi)部的压力(静压)高(gāo)于外部的压力(静压(yā))。
压力差(chà)的维持一般应符(fú)合以下(xià)原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁(jié)净度级别低的空间的压力。
3.相(xiàng)通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房(fáng)间(jiān)。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从(cóng)缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意(yì)义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙(xì)时的阻力。
洁净室中的气流速度规定:
这里要讨论的气流速度是指洁净(jìng)室内的气流(liú)速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作(zuò)用来减(jiǎn)轻室内污染(rǎn)的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不(bú)过对(duì)室内气流速度也有如下要求;
(1)送风口出(chū)口气(qì)流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散(sàn)角度更大。
(2)吹(chuī)过水平面的(de)气流速度(例如侧送时回流速度(dù))不宜太大,以(yǐ)免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度(dù)一般不宜大(dà)干(gàn)0.2m/s.
对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),由于主要靠气流的“活塞打挤(jǐ)压作用排除行(háng)染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考(kǎo)美国20gB标准,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通(tōng)风量是极大的(de),为了节(jiē)能,也都在探求降低速一风速的可行(háng)性。
在我(wǒ)国,《空气洁净技术措(cuò)施》和<洁净厂房设(shè)计规范))都是这样规定的:
垂直(zhí)平行流(层流)洁净室≥0.25m/s;
水平平行流(层流)洁净室≥0.35m/s。
研究表(biǎo)明以上规定基本上满足控制污(wū)染的要(yào)求,但认为应区别不同情况分出不同的档别,更能体现节能的目的。
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