无尘（chén）室内（nèi）该如何防止微粒子污染呢？

   无尘室内（nèi）的浮游微（wēi）粒子浓度，使用（yòng）高（gāo）性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业（yè）者、机器、周边机械的发尘及基（jī）板运送（sòng）时所接触的零件材料的发（fā）尘等，在制造品周（zhōu）边扬起了少许（xǔ）的（de）微粒子（zǐ），因而造成了元件清洁面的粒子污染。
   
    无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原（yuán）则：

    一、不携入

    在无（wú）尘室内不携入微粒子的方法有：

    1）作业员进入无尘室前，机（jī）台、零件携入前（qián）应进行清洁处理；

    2）进入无尘室者在更衣室要穿（chuān）着（zhe）不（bú）发尘、不产生静电的具特殊导电（diàn）性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩（zhào）等。

    3）通过风淋室时利用高（gāo）速干净空气除去附在衣（yī）服表（biǎo）面的粒子后，才（cái）能进入无尘室。

    4）机器及材料带进无尘室前（qián），应尽可能在（zài）密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹（chuī）淋后才进入无尘室。

    5）无尘室中须全程（chéng）穿戴密闭式安全帽及（jí）佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。  

    二、不发生

    在控制（zhì）zui大污（wū）染源--人（rén）在无（wú）尘室内的微粒子发尘量（liàng）的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发（fā）尘（chén），而物（wù）品在（zài）移动时也会有微粒子（zǐ）的发（fā）生。故为了控制发尘量达到zui小限度应采取以下对策：

    1）减少接触剥离发尘的（de）动作形态（tài）；

    2）采用磨耗（hào）发尘小的材质；

    3）采用发尘小的（de）润滑油；

    4）机台应用空压浮上的（de）非接触化工作原（yuán）理。

    三、不储（chǔ）备（bèi）

    若能*实施“不携入”技术，无尘室内的洁净（jìng）度（dù）就可以维持。但现实中人和（hé）物品的频繁出入及制造机台（tái）的掣动，在广大的无尘室内要有*洁（jié）净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过（guò）滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通（tōng）常已发（fā）生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停（tíng）留在周（zhōu）边的物体表面。突发性的振动及（jí）不稳定的气流会使这些累积微粒在空（kōng）气（qì）中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。

    在（zài）zui高（gāo）等（děng）级无尘进化工程中（zhōng）的无尘室中从天花板（bǎn）到地面，*除去微（wēi）粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂（chuí）直向下流动。这是在约10秒（miǎo）内将室内空气和*过滤空气*交换所计算出来的（de）数值。同时，空气的流向也必须要有的控制才行。特别要保证气流的（de）流通路径畅通无阻，因为（wéi）在流通路径中有障（zhàng）碍物的话，容（róng）易产生空气空气涡（wō）流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速（sù）排除而长时间漂流在无尘室内，而一（yī）部（bù）分会附着在周边（biān）机器设备的表面而引起污染。

    控制气流可防止（zhǐ）微粒子（zǐ）累积，但（dàn）对于带（dài）电表面的微粒累积就无法防止。

为了防止由静电吸（xī）附（fù）而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度（dù）在数（shù）十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采（cǎi）用带电程度很少（shǎo）的搬送形态及（jí）接触部品材料，并藉（jiè）由（yóu）除电装置进行（háng）除电。

    四、排除（chú）/除去

    在无法避免大量微粒子发生的机台中，为（wéi）了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排（pái）气（qì）的对（duì）策（cè）如下：由于导入同量的（de）外气是必（bì）要的（de），但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对（duì）策（cè）。因此尽可能（néng）地在压缩排气量的同时，不（bú）仅仅是向无（wú）尘室外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。


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