洁净（jìng）室空调采用循环空气方（fāng）式

FFU层流罩之洁净室乱流（liú）式：

　　空气由空调箱经风管与洁净室（shì）内之空气过滤器（HEPA）进（jìn）入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡（wō）流状态。此型式适用于洁净室等（děng）级1,000-100,000级。　　
　　
        优点：构造简单、系统建（jiàn）造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工（gōng）作台，提高洁净室（shì）等级。

　　缺点：乱流造成的（de）微尘粒子于室内空间飘浮不易（yì）排出（chū），易污染制程产品。另外若系统停止运（yùn）转再激活，欲（yù）达需求之洁净度，往（wǎng）往须耗时相当长一（yī）段时间（jiān）。

    FFU层流罩之集中式洁净空（kōng）调系统（tǒng）是无尘净化工程的洁净设备（如加热器、冷却器、加湿器、粗（cū）中效空（kōng）气过滤（lǜ）器、风机等）集中设计在空调机房内，用风管将洁净空气送进各个洁净室。分散式（shì）洁净空调系统是在一般的（de）空调环境或（huò）低级别洁净空调环（huán）境（jìng）中（zhōng），设置净化设备或洁净空调设备（如净化单元、空气自净器（qì）、层流罩、洁净工（gōng）作台等）.在半导体（tǐ）芯片工厂或其他生产过程要（yào）求高洁净度的洁净厂房中，其洁净空调系统采用循环空气方式，其循环方式主要有集中式、隧道式、风机过滤单（FFU）方式和微环境（jìng）+开放式洁净室方式等。这些送风方式既可以满足高（gāo）洁净（jìng）度要求（qiú），还可以不同程度地减小能耗。

　  LED/液晶/线路（lù）板制造是一（yī）种高度精密化的工业，一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制（zhì）造成品的质量，因此制造过（guò）程均要求在严格控制下的洁净室（shì）中操作。洁净室是一个（gè）采用层（céng）层过滤以去除空气（qì）中微粒存在，并控制室内（nèi）温度（dù）与湿度于恒定状态的密闭空（kōng）间。


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