无尘室的分类

        随（suí）着人们生活质量的提高，对空气质量也有所要（yào）求（qiú），无尘净化工程也大量的开展起来，这当然需要许（xǔ）多（duō）设备，因此对无尘室也有一定（dìng）的要求，那么，无尘室的分类是怎样的呢？

1. 乱流式（Turbulent Flow）：空气由（yóu）空调机箱经风管和（hé）洁净室内的空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由（yóu）洁（jié）净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不规则的乱流或涡流状态。此（cǐ）型式适合（hé）于洁净室等级为：1,000-100,000级。

优点：构造简单、系统建造成本比较低，洁净室之扩充比较容易，在某（mǒu）些特殊用途场所（suǒ）需（xū）提高洁净等级（jí），可结合洁净工作台来提高洁净室等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品（pǐn）。另外若系统停止（zhǐ）运转再激活，欲达需求的洁净度，往往须相（xiàng）当长一（yī）段时间。

2.层流式（Laminar）：　空（kōng）气气流运动成一均匀的直线形，空气由覆盖率100%的过滤器进入室内，并由高架（jià）地板或两（liǎng）侧回风柱回风，此型式适合于级（jí）别比较高的洁净室，一（yī）般其洁净室等（děng）级为Class 1~100。其型式可分（fèn）为二种：

（1）水（shuǐ）平层流式：水平式空（kōng）气（qì）自过滤器（qì）单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风（fēng）向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单（dān），运转后短时间内即可变成稳（wěn）定。缺点：建造费（fèi）用比乱流式高，室内空间不易扩充。
（2）垂直层流式：房间天花板*以ULPA过（guò）滤器覆盖，空气由上往（wǎng）下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员（yuán）所产生的尘（chén）埃可快速排出（chū）室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易（yì）为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造（zào）费用较高（gāo），弹性运用空间（jiān）困难，天花（huā）板之吊架相（xiàng）当占空间，维修（xiū）更换过滤器较麻（má）烦。

3.复合式（Mixed Type）：　复（fù）合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。（1）洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以（yǐ）上，可节省安（ān）装运转费用。此型式（shì）需（xū）将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔（gé）离，以（yǐ）避免机器维修时影响了工作（zuò）及品质，ULSI制程大都采用此种型式



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