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洁净室的测试及验收标准

更新时间:2014-12-12      点击次数:7458

 

洁净(jìng)室的测试及验收标准

控制(zhì)洁净室空气(qì)参数的目(mù)的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完(wán)成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用(yòng)阶(jiē)段都要完(wán)成空气参数的控制工作。在各(gè)种标准和建议(yì)(16)中(zhōng)都详(xiáng)细地制订了和提出了洁净(jìng)室空气参数的(de)测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控(kòng)制下列参(cān)数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒(lì)子的浓度

3、气(qì)流的风速和单向(xiàng)性(xìng)(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整(zhěng)体性

6、空气(qì)温度和(hé)湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确(què)定:根据设计要求,一般(bān)洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要(yào)制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级(jí)别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(dù)(每1m3空气(qì)中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方(fāng)法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒(lì)径都是指阀值粒径。

所(suǒ)列为整数级别序数N和zui常见值D的(de)粒子zui大允许浓度

 

洁净度级别表示实例

ISO 4级;静态;给定粒径0.5微米(352粒子/m3)。

ISO 5级;静态(tài);给定粒径0.5微米(3520粒子(zǐ)/m3);5.0微米(29粒子/m3)。

因此,在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所(suǒ)示的该级别的所有粒子粒(lì)径。而只(zhī)要(yào)检测为该(gāi)种洁净室给定的粒子粒径。

测定洁净(jìng)度级别(bié)的方法

在检测洁净室的洁净度(dù)级别(bié)时,应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度(即(jí)取样(yàng)点的粒子浓度)。

因此必须满足下列要求

1)确认洁净室的状态与给定的相符;

2)确定给定粒径,洁净室取(qǔ)样点的数量和位置;

3)确定每一取样点的取样数(shù)量;

4)确定对(duì)每(měi)一(yī)种给定粒径在每1取样点上,每1次取样的取样量和取样时(shí)间(jiān);

5)取样之后应对每一种给定粒径的(de)粒子进行相应统计;

6)将取样数据填入按各种给定粒径统计(jì)的粒子统(tǒng)计记录表(biǎo)内(适于(yú)采用无计算机软(ruǎn)件(jiàn)的粒子计数器的场合下);

7)整理取得的数据;

8)对结果进行分析;

9)整(zhěng)理方案确定级(jí)别应符合上(shàng)表要求。

气流的检(jiǎn)测

在洁净室(shì)中(zhōng)的气流:

气流(liú)风速(通常是控制单向气流的风速)

气流均匀性(单向气流风速稳(wěn)定性)并目视检查气流。

空气(单向气流)的风速和风量

空气单(dān)向气流的风速是在垂直于气流方(fāng)向的平面上并距离风源150-500mm处测得(dé)的。

测试点的数量应大于被测表面(miàn)面(miàn)积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。

应在(zài)距离过滤器表面150mm处测试过滤(lǜ)器出口处的风速(sù)。在(zài)评价气流的均匀性时,应在(zài)距离过滤器表面300mm以上处测试风速。

1点的测量时间不得少于10秒。并且(qiě)要确定平均值,zui大和zui小值。

气流的均匀性(xìng)

根据在垂直于空气运动方向的平面上(shàng)各(gè)点的风速测试数据,评价单向气流(liú)的均匀(yún)性,建议该平面应距离过(guò)滤器表面(miàn)(风口)300毫米(mǐ)以上。

平面上各点处的风速相差(chà)不得超过20%-30%

检验(yàn)过滤器的整体性

zui终(zhōng)过(guò)滤器(qì)(HEPAULPA过滤器)是洁净室的重要部分。这些过滤器安设在洁净室的吊顶和墙(qiáng)上,装在设备和风管内。应进行泄(xiè)漏检查,以控制过滤器的整体性,过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏,会超过ГOCTP5125-99

制造商应在厂内对过滤器作zui大(dà)穿透粒径(jìng)试验,附过滤器检(jiǎn)测报告,现场不做检漏。

温度的检测

在洁(jié)净室内采用两种方法控制温度:

n      一(yī)般控制

n      特殊控制

(一般控制)在通风空调系统投产-调(diào)试(shì)时,以及在洁净室(shì)检测的各个阶(jiē)段和使用阶段均要进行温度(dù)的一般控制。

规定工作席工作区高度处的温度,以(yǐ)及必要时,其他工作点的温(wēn)度都要加(jiā)以控制。

1小时(shí)或更多一些的(de)时间内应周期性的连续测试6分钟。

相对湿度的控制

待通风空调系统工作稳定后,相(xiàng)对湿度的控制可与温度的测量同时进行。

至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相(xiàng)对湿度(dù)的(de)测量,为了使传感器持(chí)续稳定(dìng),测量的持(chí)续时间(jiān)不得少于6分钟

 

 

洁净室的测试及验收标准

控制洁(jié)净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定(dìng)的洁净度级别。无论是在(zài)投产调试(shì)工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段(duàn)都要完成空(kōng)气参(cān)数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净(jìng)室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已(yǐ)成为广(guǎng)大科技(jì)界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态(tài)的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气(qì)流的风速和单向性(xìng)(对单向气(qì)流而言)

4、风量和换气次数(shù)

5、zui终过滤器的整体性(xìng)

6、空气温度和湿(shī)度

7、洁净室的密闭性

8、洁(jié)净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气(qì)进行静态检测(cè),一般不做(zuò)动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁(jié)净(jìng)区均按一项指标划分级别—一定粒径粒(lì)子的zui大允(yǔn)许浓(nóng)度(dù)(每1m3空(kōng)气中(zhōng)的粒子数(shù))。

空气洁净度级别和空气洁净(jìng)度的(de)测定方法均按下表中的规定确定,根据该标(biāo)准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径(jìng)≥给定阀(fá)值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁(jié)净度级别(bié)时,应对粒径(jìng)≥阀值(zhí)的粒子进行(háng)统(tǒng)计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒(lì)径。

所列为整(zhěng)数级别序数N和zui常见值D的粒子(zǐ)zui大允许浓度

 

洁净室的测试及验收标准

控制洁净(jìng)室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要(yào)完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地(dì)制订了和提出了洁净室空气(qì)参数的测试和控制方法。至今这些方法(fǎ)已成为广大科(kē)技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度(dù)

3、气流的风速和(hé)单向性(对单(dān)向气流而言)

4、风量和换气(qì)次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状(zhuàng)态的确定:根据设计要(yào)求,一般(bān)洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般(bān)不做(zuò)动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓(nóng)度的检测

洁净度级别

洁净室(shì)和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允(yǔn)许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测(cè)定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净(jìng)级别是由粒径≥给定阀值D的粒子(zǐ)的zui大(dà)允(yǔn)许浓度确定(dìng)的。

在确(què)定实际洁净室的洁净度级别时,应(yīng)对粒径≥阀值的粒子进(jìn)行(háng)统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为(wéi)整数级别序数N和zui常见值D的粒子(zǐ)zui大(dà)允许浓度

 

控制(zhì)洁净室(shì)空气参数的目的—检查洁净室是否(fǒu)符合给定的洁净度(dù)级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室(shì)使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地(dì)制订(dìng)了和(hé)提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内(nèi),按(àn)其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定(dìng)

2、空气中粒子的浓度(dù)

3、气流的风速和单向性(xìng)(对单向气流而言)

4、风量(liàng)和(hé)换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空(kōng)气温度(dù)和湿度

7、洁净室的密闭性(xìng)

8、洁净室表面(miàn)的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求(qiú),一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要(yào)制定或参照其他标准(zhǔn)。

空(kōng)气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一(yī)定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子(zǐ)数(shù))。

空气洁净度级别(bié)和空气(qì)洁净度(dù)的测定方法均按下表中的规定确定(dìng),根据该(gāi)标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定(dìng)阀值D的粒子的zui大允许浓(nóng)度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径(jìng)。

所列为整数级别序数(shù)N和(hé)zui常(cháng)见值D的粒子zui大(dà)允许浓度

控制洁净(jìng)室空气参数的目的—检查洁净室是否符(fú)合给定的洁净度级别(bié)。无论(lùn)是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净(jìng)室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细(xì)地制订了和(hé)提出了洁净室空(kōng)气参(cān)数的测试和(hé)控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室(shì)内,按其用途的(de)不同应控制下列参(cān)数:

1、测(cè)试状态(tài)的确(què)定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速(sù)和单向(xiàng)性(对(duì)单向(xiàng)气流(liú)而言)

4、风量(liàng)和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和(hé)湿度(dù)

7、洁净室的密闭性

8、洁(jié)净室(shì)表面(miàn)的洁净度

测试状态的确定:根据(jù)设计要求,一般洁净室都是对洁净室内(nèi)的空气进行静态(tài)检测,一般不做动态检测(cè),如需动态检测,需要制定或参照其(qí)他(tā)标准(zhǔn)。

空气粒(lì)子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级(jí)别—一定粒(lì)径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别(bié)和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确(què)定,根据该标(biāo)准的规定,洁净室的洁净级别是(shì)由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓(nóng)度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子(zǐ)给定粒径都是指阀(fá)值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室(shì)是否符合给定的(de)洁净度级别。无论是(shì)在投产调试(shì)工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参(cān)数(shù)的控制工作。在各(gè)种标准和建议(16)中都详细地制订了(le)和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下(xià)列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的(de)浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次(cì)数

5、zui终过滤器的整体性(xìng)

6、空气温度和湿(shī)度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净(jìng)度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检(jiǎn)测,如需动态检测(cè),需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓(nóng)度的(de)检测

洁净度级别

洁(jié)净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气(qì)中的粒子数)。

空气洁净度级(jí)别和空气洁净度的测定方法均按(àn)下(xià)表中的规定确定,根据该标准(zhǔn)的规定(dìng),洁净(jìng)室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允(yǔn)许浓度确(què)定的。

在(zài)确定实际洁净室的(de)洁净度级别(bié)时,应对粒径≥阀(fá)值的粒子进行统计,下面的粒子给(gěi)定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查(chá)洁净室是否符合给定的洁(jié)净度(dù)级别。无论是在投(tóu)产调试工作(zuò)完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成(chéng)空气参数的控制工作。在各(gè)种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出(chū)了洁净室(shì)空气(qì)参数的测(cè)试和(hé)控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共(gòng)同财富。

在洁净室内,按(àn)其用途的不同应控制下列参数(shù):

1、测试(shì)状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和(hé)单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净(jìng)室的密闭(bì)性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静(jìng)态检测,一般不做动态检测,如需动(dòng)态(tài)检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区(qū)均按一(yī)项指标划分级别—一(yī)定(dìng)粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气(qì)中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均(jun1)按下表中的规定确定,根据该(gāi)标准的规(guī)定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的(de)洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都(dōu)是指阀值粒径。

所列(liè)为整数(shù)级别序数N和zui常(cháng)见值D的粒子zui大允(yǔn)许浓度(dù)

 

控(kòng)制洁净室(shì)空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定(dìng)的(de)洁净度级别。无论(lùn)是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使(shǐ)用阶段都要完成(chéng)空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制(zhì)订了和提出了(le)洁净(jìng)室空气参数(shù)的测试和控制方(fāng)法。至今这(zhè)些方法已成为广大科技界的共同(tóng)财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试(shì)状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单(dān)向性(对单向气流而言(yán))

4、风量和换气次数

5、zui终过滤(lǜ)器的整(zhěng)体性

6、空气(qì)温度和湿度

7、洁净室的密闭(bì)性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的(de)确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净(jìng)室内的空气进行静态检测,一(yī)般不做动态检测(cè),如(rú)需动态检测,需要制定或参照其(qí)他标准。

空气粒子浓度的检测(cè)

洁净度级别

洁净室和洁净(jìng)区均(jun1)按一项指标划(huá)分级(jí)别—一定粒径粒子的zui大(dà)允(yǔn)许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空(kōng)气洁净度级别和空气洁(jié)净度(dù)的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净(jìng)级别是由粒(lì)径≥给定阀(fá)值D的粒子的zui大允许浓度确定(dìng)的。

在确定实际洁净室的(de)洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒(lì)子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整(zhěng)数级别序数N和zui常见值D的粒(lì)子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检(jiǎn)查洁净室是否(fǒu)符合给定的洁(jié)净度级别。无论(lùn)是在投产调试(shì)工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气(qì)参数的(de)控制工(gōng)作。在(zài)各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净(jìng)室空气(qì)参数的测试(shì)和控制方法。至今这些方法已(yǐ)成为广大科技(jì)界的共同财富(fù)。

在洁净室内,按其用途的不同(tóng)应(yīng)控制(zhì)下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气(qì)流的风速和单向性(对单向(xiàng)气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭(bì)性

8、洁净室表面的洁净度

测试状(zhuàng)态的确定:根据设计要求,一般洁净室都(dōu)是对洁(jié)净室内的空气进(jìn)行静态检测(cè),一(yī)般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标(biāo)准。

空(kōng)气粒(lì)子浓度的检测(cè)

洁净度(dù)级别

洁(jié)净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子(zǐ)的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别(bié)和空气洁净度的测定方法(fǎ)均按下(xià)表中的规定确定,根据该标准(zhǔn)的规定,洁净室的洁净级别是由粒(lì)径≥给定阀值D的粒(lì)子的zui大允许浓(nóng)度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定(dìng)粒径都是指阀值粒径。

所列(liè)为整数级(jí)别序(xù)数N和zui常见值D的粒子zui大允许(xǔ)浓度

 

控制洁净室空气参(cān)数的目的—检查洁净(jìng)室是否符合给定的(de)洁净度级别。无论是在投(tóu)产调试工作完成(chéng)后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种(zhǒng)标准和建议(16)中都详细(xì)地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法(fǎ)。至今这些方法已成为广大科技界的共(gòng)同财富(fù)。

在洁净室内,按其用途的不同应(yīng)控制下列参数:

1、测试状(zhuàng)态(tài)的确定(dìng)

2、空气(qì)中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言(yán))

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁(jié)净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁(jié)净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态(tài)检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测(cè)

洁净度级别

洁净(jìng)室和洁净区均按一(yī)项指标(biāo)划分级别—一定粒径粒子的(de)zui大允许(xǔ)浓度(dù)(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁(jié)净度级别和空气洁净度的(de)测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒(lì)子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度(dù)级别时,应(yīng)对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的(de)目的—检查洁净室是(shì)否符合给(gěi)定的洁净度级别。无论是在投产(chǎn)调试工作完成(chéng)后(hòu)的洁(jié)净室检(jiǎn)测阶段,还是洁净室使用阶段(duàn)都要完成空气参数的控制(zhì)工作。在各种标准和建议(16)中都详(xiáng)细地制订了和提出(chū)了(le)洁净(jìng)室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下(xià)列参数:

1、测试状态(tài)的确定

2、空气中(zhōng)粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向(xiàng)气流而言)

4、风量和换气次数(shù)

5、zui终过滤器的整体(tǐ)性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁(jié)净室表(biǎo)面的洁净度

测(cè)试状态(tài)的确定(dìng):根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检(jiǎn)测,一般不做动态检测(cè),如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空(kōng)气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和(hé)洁净区均按一项指标划分级别(bié)—一定粒径粒子(zǐ)的zui大允许(xǔ)浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气(qì)洁净度级别和空气洁(jié)净度的测定(dìng)方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的(de)洁净(jìng)级别是(shì)由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许(xǔ)浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子(zǐ)给定(dìng)粒径都是指阀值粒径。

所列(liè)为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大(dà)允许浓度(dù)

 

控制洁净室空气参数的(de)目的—检查洁净室是(shì)否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成(chéng)后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用(yòng)阶段都要完成空气参数的控(kòng)制工作。在(zài)各种标准和建议(16)中(zhōng)都详细地(dì)制订了和提出了洁(jié)净室(shì)空气参数的测试和控(kòng)制方法。至今这些方法已成为广大科技界(jiè)的共同财富。

在洁(jié)净室内,按其用途的(de)不同应控制(zhì)下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气(qì)中粒子的(de)浓度

3、气流的风速和单向性(对(duì)单向(xiàng)气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空(kōng)气温度和(hé)湿度

7、洁净室的密闭性(xìng)

8、洁净室表面的洁(jié)净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是(shì)对洁净室(shì)内的空气进行静态(tài)检测,一般不做动态检测,如需(xū)动态检测,需要制定或参照其他(tā)标准。

空(kōng)气粒子浓度(dù)的检(jiǎn)测

洁净度(dù)级(jí)别

洁净(jìng)室和洁(jié)净区均按一项指标划分级别—一定(dìng)粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气(qì)洁(jié)净度(dù)级别和空气洁净度的测定方法均按下表中(zhōng)的规定确定,根据该标(biāo)准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给(gěi)定阀值D的粒子(zǐ)的zui大允许浓度确定(dìng)的。

在确定(dìng)实(shí)际洁净室的洁净度级别(bié)时(shí),应(yīng)对粒径≥阀值(zhí)的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都(dōu)是指阀值粒径。

所(suǒ)列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制(zhì)洁(jié)净室空气参数的目的—检查洁净室是否(fǒu)符(fú)合给定的洁净度级(jí)别。无论是在投产调试(shì)工作完成后(hòu)的洁净室检测阶(jiē)段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准(zhǔn)和建议(16)中都详细地制订了和提出(chū)了洁净室空气参数(shù)的测试和控制方法。至今这(zhè)些方法(fǎ)已(yǐ)成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单(dān)向性(对单向气流(liú)而言)

4、风量和换气次数(shù)

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的(de)洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净(jìng)室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动(dòng)态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级(jí)别

洁净(jìng)室和(hé)洁净区(qū)均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的(de)粒子数)。

空气洁(jié)净度(dù)级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准(zhǔn)的规定,洁净室的洁净(jìng)级别是由粒(lì)径≥给定阀(fá)值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀(fá)值的粒子进行统计,下面的粒子(zǐ)给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整(zhěng)数(shù)级(jí)别序数N和(hé)zui常见值D的粒(lì)子(zǐ)zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的(de)目的—检(jiǎn)查洁净(jìng)室是否符合给定的洁净度级(jí)别。无论是在投产调试工作完成(chéng)后的洁净室(shì)检测阶段,还是洁净室使用阶(jiē)段都要完成空气参数的控制工作(zuò)。在各种标准和建议(16)中都(dōu)详细地制订了和提出了(le)洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已(yǐ)成为广大科技界的共(gòng)同财富。

在洁净室内,按其(qí)用途的(de)不同(tóng)应控制下列参(cān)数:

1、测(cè)试状(zhuàng)态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设(shè)计要(yào)求,一般洁净室都是对洁净室内(nèi)的空气进行静态检测,一般不做动(dòng)态检测,如需动态检(jiǎn)测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净(jìng)室和洁净区均按一(yī)项指标划分级别—一(yī)定粒(lì)径(jìng)粒子的zui大(dà)允许浓度(dù)(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁(jié)净室的洁净级别是由粒径≥给定阀(fá)值D的粒子的(de)zui大(dà)允许(xǔ)浓度确定的。

在确定实际洁净室的洁净度(dù)级别时,应对粒径≥阀值的粒(lì)子进(jìn)行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数(shù)的目的—检查洁(jié)净室是(shì)否符(fú)合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成(chéng)后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用(yòng)阶(jiē)段都要(yào)完(wán)成(chéng)空(kōng)气参数的(de)控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和(hé)提出了(le)洁净室空(kōng)气参数的测试(shì)和控制方(fāng)法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在(zài)洁净室内,按其用途的不同应控制(zhì)下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的(de)风速和单向性(对单向(xiàng)气流而(ér)言)

4、风量和换气次数

5、zui终(zhōng)过滤器的整体性

6、空气(qì)温度和(hé)湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室(shì)表面的(de)洁净度

测试(shì)状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需(xū)要制定或参照其(qí)他标准。

空气粒子(zǐ)浓度的检测

洁净度级别

洁(jié)净室和洁净区均按一项(xiàng)指标(biāo)划分级(jí)别—一定粒径粒子的zui大允许(xǔ)浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净(jìng)度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准(zhǔn)的规定,洁净(jìng)室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的(de)粒子的(de)zui大允许浓度确定的。

在确定实际(jì)洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统(tǒng)计,下面的粒子给(gěi)定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净(jìng)度级别(bié)。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室(shì)使用阶段都要完(wán)成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和(hé)提出了洁净(jìng)室空气参数的测试和控(kòng)制方法。至今这些方法已成为广大科(kē)技界(jiè)的共同财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而(ér)言)

4、风量和换气(qì)次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气(qì)温度和湿度

7、洁净室的密闭(bì)性

8、洁净室表(biǎo)面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要求,一(yī)般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态(tài)检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参(cān)照其(qí)他标(biāo)准(zhǔn)。

空气粒子浓度的检测

洁净度(dù)级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别(bié)—一定粒径粒子的zui大允许(xǔ)浓度(每1m3空气中(zhōng)的粒子(zǐ)数(shù))。

空气洁净度级别和空气洁净度的(de)测定方法均按(àn)下(xià)表中的规定确定,根据(jù)该标准的规定,洁净室的洁净级(jí)别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定(dìng)的(de)。

在确(què)定实际洁净(jìng)室的洁净度级别时,应对粒(lì)径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是(shì)指阀值(zhí)粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的(de)—检查洁净室是否符合给(gěi)定的洁净度级别。无论是在投(tóu)产调试(shì)工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在(zài)各(gè)种标准和建议(16)中都详细地(dì)制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同(tóng)财富。

在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、测试状态的(de)确定

2、空(kōng)气中粒(lì)子的浓度

3、气流(liú)的风速和单向性(对单向(xiàng)气流而(ér)言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整(zhěng)体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的(de)洁净(jìng)度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空(kōng)气(qì)进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照(zhào)其他标准。

空气粒子浓度的(de)检测

洁净度级别

洁净室和洁净区(qū)均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的zui大(dà)允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根(gēn)据该(gāi)标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒(lì)径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际(jì)洁净室的洁净度级别(bié)时,应对粒径≥阀值的粒(lì)子进(jìn)行统计,下面的粒子(zǐ)给定粒径都是指阀值粒径。

所(suǒ)列(liè)为整数(shù)级别序数(shù)N和(hé)zui常(cháng)见(jiàn)值D的粒子zui大允许浓度

 

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定(dìng)的洁净度级别。无论是在投产调试工作(zuò)完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶(jiē)段都要完成空气参(cān)数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数(shù)的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁(jié)净室内,按其用(yòng)途的不同应控制下(xià)列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流(liú)的风速和单向(xiàng)性(对单向气流而言(yán))

4、风(fēng)量和换气次数

5、zui终过滤器的整(zhěng)体性

6、空气(qì)温度(dù)和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面(miàn)的洁净度

测试状态的确定:根据设计(jì)要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行(háng)静(jìng)态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定(dìng)或(huò)参照其他标准。

空气粒(lì)子(zǐ)浓度的检测

洁净度级(jí)别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒(lì)径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净(jìng)度的测定方法均按下表中的规定确定(dìng),根据该标准的规定,洁净室的洁(jié)净级别是由粒(lì)径≥给定阀值(zhí)D的粒(lì)子的zui大允许浓度确定的。

在确(què)定实际洁净室的洁(jié)净(jìng)度级别(bié)时(shí),应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给(gěi)定粒径都是指阀值(zhí)粒径。

所列为整数级别序数N和(hé)zui常见(jiàn)值D的粒(lì)子zui大(dà)允许浓度(dù)

 

控制洁净室空气参数的目(mù)的—检查洁净(jìng)室是(shì)否(fǒu)符合给定的洁净度级别。无论是在投产调(diào)试工作完成后的洁净室检(jiǎn)测阶段(duàn),还是洁净室(shì)使用阶段都要完(wán)成空气参(cān)数的控制工作。在各(gè)种标准和建议(16)中都详细地制订了和提(tí)出了洁净室空气(qì)参数的(de)测试和控制方法。至今这些方法(fǎ)已成为广(guǎng)大科技界的共同财(cái)富。

在洁净室(shì)内(nèi),按其用途的不同应控制下(xià)列参数:

1、测试(shì)状态的(de)确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的(de)风速和单向性(xìng)(对(duì)单向气流(liú)而言)

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度(dù)

7、洁(jié)净室的密闭性

8、洁净室表面的洁净度

测试状(zhuàng)态的确定:根(gēn)据设计要求,一般洁(jié)净室都是(shì)对洁净(jìng)室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁(jié)净区(qū)均按一项指标划分级(jí)别—一定粒径粒(lì)子(zǐ)的zui大(dà)允许浓度(每1m3空气中的(de)粒子数)。

空气洁净度级(jí)别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确(què)定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的zui大允许浓度(dù)确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒(lì)子给定(dìng)粒径都(dōu)是指阀值粒(lì)径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

 

控制(zhì)洁净室(shì)空气参数的目的(de)—检查洁净(jìng)室(shì)是否符合给定的洁净度级(jí)别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工(gōng)作。在各种标准(zhǔn)和建议(16)中都详细地制订了(le)和提出了洁净室空气参数的测试(shì)和控制(zhì)方(fāng)法。至今(jīn)这些(xiē)方法已成为广(guǎng)大科技界的共同财富。

在洁净室内,按其用途的(de)不同应控制下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气(qì)流的风速和单向性(对单向气流而言(yán))

4、风量和换气次数

5、zui终过滤器的(de)整体性

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭(bì)性

8、洁净室表面的洁净度

测试状态的确定:根据设计要(yào)求,一般洁净室都是对洁净室内的空气(qì)进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态(tài)检测,需要制定或参照其他标准。

空气(qì)粒(lì)子浓度的检(jiǎn)测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定(dìng)粒径粒子的zui大允许浓度(每1m3空气中的(de)粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定(dìng)方法均按(àn)下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值(zhí)D的粒子的zui大允许浓度确定的。

在确定实际(jì)洁净室的洁净度级别(bié)时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和zui常见值D的粒子zui大允许浓度

控制洁净室空气参数的目的—检查洁净(jìng)室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成(chéng)后的(de)洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段(duàn)都要完成空气(qì)参(cān)数的控制工作。在各种(zhǒng)标准和建议(16)中都(dōu)详细地制订了和提(tí)出了洁净(jìng)室空气参数(shù)的测试和控制方法。至今这些方法已(yǐ)成(chéng)为广大科(kē)技(jì)界的共同财富。

在洁净室内,按(àn)其用途的不同应控制(zhì)下列参数:

1、测试状态的确定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)

4、风量和换(huàn)气次数(shù)

5、zui终过滤器(qì)的整(zhěng)体性(xìng)

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性

8、洁净室表面的洁(jié)净度

测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净(jìng)室都是对洁净室内(nèi)的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

空气粒子浓度的(de)检测(cè)

洁净度级别

洁净室和洁净区(qū)均按一项(xiàng)指标划分级别—一定(dìng)粒径粒(lì)子的zui大允许浓(nóng)度(每(měi)1m3空气中(zhōng)的粒子数)。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中(zhōng)的规定(dìng)确定(dìng),根据该标准的规定,洁净室(shì)的洁净级(jí)别是由粒径≥给定阀值D的粒(lì)子的zui大允许浓度(dù)确定的。

在确定实际洁净(jìng)室(shì)的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的(de)粒子给(gěi)定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别(bié)序数N和zui常见值D的(de)粒子zui大允许浓度

 

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